氣體在化工、鋼鐵、半導(dǎo)體、電子、醫(yī)療、石油、食品等行業(yè)中應(yīng)用極為廣泛，種類多樣，可分為一般氣體、特殊氣體及工業(yè)氣體。在半導(dǎo)體制造中，氮?dú)馐怯昧孔畲蟆⒂猛咀顝V的氣體之一，其不導(dǎo)電、冷卻速度快的特性，使其既能在制程中保護(hù)設(shè)備，也能用于隔離危險(xiǎn)氣體或進(jìn)行低溫測試。

氮?dú)夤?yīng)系統(tǒng)在半導(dǎo)體廠的要求極為嚴(yán)苛，必須滿足高潔凈、高純度和高度干燥等條件。其中，干燥度的控制尤為關(guān)鍵，通常會(huì)在氣體輸送系統(tǒng)中安裝露點(diǎn)傳感器，以實(shí)時(shí)監(jiān)控氮?dú)鉂穸仁欠襁_(dá)到工藝要求。

實(shí)際應(yīng)用場景

半導(dǎo)體廠的氮?dú)夤?yīng)模式會(huì)根據(jù)用氣規(guī)模、氮?dú)馍a(chǎn)廠距離以及廠區(qū)布局而有所不同，常見的有桶槽供氣、鋼瓶供氣、管道供氣和用氣端供氣等。無論采用哪種方式，氮?dú)舛夹柰ㄟ^高壓鋼瓶或吸附式氣體儲(chǔ)存設(shè)備，經(jīng)管路輸送至現(xiàn)場閥箱進(jìn)行流量與混合比例調(diào)節(jié)，再供給后端制程設(shè)備使用。

半導(dǎo)體制程中使用的氮?dú)馔ǔＶ苯咏佑|電子元件，純度需達(dá)到 ppm 甚至 ppb 級(jí)別，潔凈度需控制塵埃粒徑小于 0.1～0.05 μm，干燥度則要求壓力露點(diǎn)達(dá)到 -40℃～-60℃。

為確保氮?dú)鉂穸冗_(dá)標(biāo)，露點(diǎn)傳感器常安裝在氣體進(jìn)入冷凍干燥機(jī)前，或在晶圓烘烤工序前，以便精準(zhǔn)監(jiān)控運(yùn)輸過程中的露點(diǎn)值，保證極低濕度環(huán)境，從而提高制程良率。

恒歌露點(diǎn)變送器 HG602-D 介紹

恒歌 HG602-D 微型露點(diǎn)變送器專為極干燥環(huán)境設(shè)計(jì)，可在氮?dú)獾雀呒兌葰怏w中實(shí)現(xiàn)快速、穩(wěn)定、可重復(fù)的露點(diǎn)測量。其具備抗干擾、耐腐蝕、防污染的特性，體積小巧、集成度高，非常適合安裝在空間受限的工業(yè)管道中。性能、品質(zhì)、外觀設(shè)計(jì)及使用壽命均達(dá)到進(jìn)口高端產(chǎn)品水平，部分指標(biāo)甚至超越，是一款極具性價(jià)比的露點(diǎn)監(jiān)測設(shè)備。

主要參數(shù)

露點(diǎn)量程：-60~60°C(可設(shè)置，受環(huán)境因素影響)

精度：±2°C Td(空氣中或氮?dú)庵?

信號(hào)輸出：RS485 + 模擬量 0~5V/0~10V/4~20mA

耐壓強(qiáng)度：16 bar

抗結(jié)露功能：探頭加熱干燥，確保測量準(zhǔn)確

工作溫度：-40~+60°C

功耗：<0.1W

供電電壓：DC10V~30V(4-20mA 輸出時(shí)建議 12V)

響應(yīng)時(shí)間：約 65 秒(1m/s 風(fēng)速)

出廠校準(zhǔn)：出廠充分校準(zhǔn)(特殊場景可定制)

數(shù)字分辨率：0.01°C/0.1°C 可選，0.01% RH/0.1% RH

通訊波特率：1200. 2400. 4800. 9600. 19200(默認(rèn) 9600)

字節(jié)格式：8 位數(shù)據(jù)位，1 位停止位，無校驗(yàn)

在半導(dǎo)體行業(yè)，氮?dú)饧兌群蜐崈舳戎苯佑绊懼瞥藤|(zhì)量。濕度控制不佳往往會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品缺陷，據(jù)行業(yè)統(tǒng)計(jì)，超過 25% 的工業(yè)不良品與低濕環(huán)境失控有關(guān)。在氣體供應(yīng)系統(tǒng)中安裝露點(diǎn)變送器，不僅能實(shí)時(shí)監(jiān)控濕氣含量，還可結(jié)合制程數(shù)據(jù)優(yōu)化反應(yīng)物比例、減少不完全燃燒等問題，從而降低成本、提升安全性與生產(chǎn)效率。