在半導體制造這個微觀世界里，每一個微小的環境因素都可能對芯片的最終品質產生巨大影響。

手套箱作為半導體制造過程中隔絕外界雜質、提供穩定工藝環境的關鍵設備，其內部溫濕度的精確控制更是重中之重。恒歌溫濕度變送器憑借卓越的性能與可靠的品質，在半導體制造手套箱應用中發揮著不可或缺的作用。

恒歌溫濕度變送器在手套箱中的優勢設計

(一)高精度測量性能

恒歌溫濕度變送器采用先進的傳感技術，其溫度測量精度可高達 ±0.1℃，濕度測量精度可達 ±1.5% RH。在半導體制造過程中，這樣的高精度意味著能夠精準捕捉手套箱內環境溫濕度的細微變化。

例如在光刻工藝中，哪怕是 0.1℃的溫度波動或 1% RH 的濕度偏差，都可能導致光刻膠的涂布不均勻，進而影響芯片的線寬精度和良品率。而恒歌溫濕度變送器能夠為操作人員提供精確到毫厘的數據反饋，確保工藝參數始終處于最佳狀態。

(二)寬范圍適應能力

半導體制造手套箱內的環境條件復雜多樣，可能面臨不同的溫度和濕度挑戰。恒歌溫濕度變送器具有出色的寬范圍適應能力，無論是低溫的工藝冷卻環節，還是在某些特殊制程中可能出現的高溫環境，它都能穩定工作。

其可耐受的溫度范圍廣泛，能夠在 -40℃至 80℃甚至更寬的溫度區間內保持精準測量，為半導體制造全流程的溫濕度監測提供了堅實保障。

(三)快速響應與穩定性

在半導體制造的高速生產節奏下，溫濕度變送器的快速響應能力至關重要。恒歌產品能夠在瞬間感知手套箱內溫濕度的變化，并及時將數據傳輸給控制系統。同時，其長期穩定性極佳，長時間連續工作也不會出現數據漂移或測量誤差增大的情況。

這使得在半導體制造這種需要長時間、不間斷運行的生產過程中，能夠始終依賴恒歌溫濕度變送器提供可靠的數據支持，無需頻繁校準和維護，大大提高了生產效率。

(四)多樣化探頭設計

恒歌為滿足半導體制造手套箱的不同應用場景，設計了多種類型的探頭。

例如，其法蘭盤長桿探頭便于在手套箱的特定位置進行牢固安裝，且長桿設計能夠深入到手套箱內部的關鍵區域進行精準測量;還有六角外螺紋長桿探頭，采用 316L 不銹鋼材質，具備良好的耐腐蝕性和透氣性，既可以適應手套箱內的化學環境，又能有效防塵，確保測量的準確性和變送器的使用壽命。