水分是半導體制造過程中影響較大的污染物之一 —  準確測量水分、濕度和溫度，是保障半導體產品質量、提升生產良率的關鍵所在，更是半導體企業在激烈市場競爭中站穩腳跟的重要支撐。?

1、半導體制造：高投入下的 “零廢品” 剛需?

半導體制造業流傳著一句話：“這不是火箭科學，但比火箭科學難多了!” 雖是玩笑話，卻精準揭示了半導體制造的嚴苛現狀：制造過程既復雜又耗時，單個制造周期長達 12 到 20 周;初期投資規模巨大，制造流程所需設備價格昂貴;在新一輪投資周期啟動前，一個制造周期通常會持續約六年，且整個生產過程利潤率相對較低。這一系列特點決定了，只有實現高產量、嚴控廢品與不良品數量，半導體企業才能確保盈利，而水分管控正是實現這一目標的核心環節之一。?

數據預估顯示，不合適的濕度條件造成的損失，占半導體企業收入損失的 25%。從晶圓清洗去除表面雜質，到光刻形成精細電路圖案，再到封裝測試確保產品性能，每一個環節都對環境濕度有著極致要求。哪怕是微量水分殘留，都可能導致光刻膠黏附性下降、電路短路，最終造成晶圓報廢，帶來巨大經濟損失。因此，在半導體制造全流程中，必須尤為謹慎地監測濕度和溫度水平。恒歌憑借對半導體行業痛點的深刻理解，推出高精度測量解決方案，適配制造工藝流程中的關鍵步驟，響應迅速且能適應多樣環境條件，為半導體制造筑牢 “控濕防線”。接下來，我們將圍繞濕度、水分、微量水分相關的濕度、露點和霜點等參數，詳解恒歌解決方案的應用價值。?

2、高科技納米級半導體制造：微量水分的 “精準捕捉”?

對于高科技納米級半導體制造這類超純應用場景，即便經過嚴格的除塵、除油脂等雜質去除工序，環境中仍可能殘留微量水分。這些看似微不足道的水分，卻會對半導體產品質量和生產良率產生直接且嚴重的負面影響，比如導致納米級電路結構出現缺陷，影響芯片導電性能。雖然完全消除流程中的每一個水分子并不現實，但借助恒歌精準的測量工具，能最大程度減少水分含量，為納米級制造保駕護航。?

恒歌的測量技術可敏銳捕捉納米級制造環境中的微量水分變化，無論是潔凈室內空氣中的濕度波動，還是工藝環節中氣體攜帶的微量水分，都能實現實時、精準監測。通過即時反饋的濕度數據，工作人員可快速調整環境參數，將水分對生產的干擾降至最低，為納米級半導體制造打造穩定、潔凈的生產環境。?

3、潔凈室暖通空調：高準確度的 “環境管家”?

潔凈室暖通空調(HVAC)系統是半導體制造的 “環境中樞”，通常內置在空氣處理裝置或風扇過濾裝置中，負責維持潔凈室的溫濕度穩定與空氣潔凈度。但在潔凈室內，水分的危害不容小覷：可能污染精密的生產工藝、與工藝中使用的化學品發生不良反應，甚至引發靜電放電(ESD)問題，這些都可能直接導致生產中斷或產品報廢。?

因此，潔凈室 HVAC 系統對溫濕度測量準確度要求極高，部分場景下需達到 ±2% 的相對濕度測量準確度以及 ±0.25°C 的溫度測量準確度。恒歌變送器產品完美適配這一高要求場景，無論是安裝在通風機內部，還是固定在潔凈室墻壁上，都能穩定運行，為 HVAC 系統提供精準數據支撐。?

值得一提的是，恒歌 HG602-C 和 HG602-D 微型露點變送器，在潔凈室 HVAC 系統中表現尤為突出。其中，HG602-C 微型露點儀被廣泛用于冷凍式干燥機、吸附式干燥機等對濕度要求嚴格的工況，也可作為零部件安裝在干燥系統、壓縮空氣系統等工業設備上，精準檢測氣體中的實際潮氣;HG602-D 微型露點變送器則專為極干燥環境設計，具備快速、穩定且可重復的測量性能，還擁有抗干擾、耐腐蝕、防污染的特性，體積小巧、集成度高，能輕松安裝在潔凈室有限空間內的多種管道中。兩款產品均采用先進傳感技術，在任何環境下都能快速響應，測量準確度高，且具備出色的長期穩定性，大幅延長維護間隔，減少因設備維護對潔凈室環境造成的干擾，確保潔凈室 HVAC 系統始終精準調控環境溫濕度。?

4、工藝管線氣體質量：低露點下的 “可靠屏障”?

潔凈室操作離不開高質量的過程氣體，而工藝管線中氣體的濕度水平，是決定氣體質量的關鍵因素。一旦工藝氣體中水分超標，可能導致材料污染、生產良率下降，因此，監測工藝管線氣體中的濕度水平，核心目標是盡量降低含水率，而露點正是衡量這一指標的關鍵參數。?

在選擇工藝管線氣體的濕度測量設備時，響應速度快和耐冷凝特性至關重要 —— 響應速度快能及時捕捉露點變化，避免水分超標;耐冷凝特性則可確保設備在長時間停機后，仍能快速恢復穩定運行，保障工藝過程平穩加速。恒歌的測量技術恰好滿足這兩大需求，其產品在低露點環境下仍能保持高精度測量，響應迅速，可實時監測工藝管線氣體的露點變化，為工藝氣體質量筑牢 “可靠屏障”，避免因水分超標導致的材料損失。?

同時，恒歌設備具備獨特的凈化功能，能去除傳感部件中不需要的殘留物，即便在次優工作條件下，也能確保長期測量準確度。此外，恒歌的自動校準功能采用專有設計和算法，可有效消除環境老化對傳感器結構的影響，通過長期監測傳感器性能，及時糾正靈敏度變化，大幅提升設備長期穩定性，使其使用壽命遠超傳統傳感器，還能減少惡劣環境條件對測量性能的干擾。一旦系統出現濕度異常故障，恒歌傳感器能迅速反應并發出警報，幫助工作人員快速識別并解決問題，將生產損失降至最低。?

5、壓縮空氣質量：超低露點的 “嚴格把控”?

在大多數半導體工業設施的潔凈室環境中，壓縮空氣潔凈度至關重要，因此對壓縮空氣中多余水分含量的要求極低：目標露點水平可低于 - 60°C，通常系統會設置多個警報級別，一旦超出目標水平即發出警報。這就要求壓縮空氣濕度測量設備，不僅要在超低露點范圍內保持高精度測量，還要具備可靠的警報功能，同時避免因測量偏差導致過度干燥，造成不必要的成本浪費。?

恒歌濕度測量產品在整個測量范圍內都經過嚴格測試和校準，確保傳感器讀數高度準確。其中，HG602-C 和 HG602-D 微型露點變送器，是把控壓縮空氣質量的理想選擇。HG602-C 適配壓縮空氣系統中的干燥設備，精準檢測潮氣;HG602-D 則在極干燥的壓縮空氣環境中表現卓越，其性能、品質、外觀設計和使用壽命可與進口高端產品媲美，部分性能指標甚至超越，且性價比極高。兩款產品能精準監測壓縮空氣的露點變化，及時觸發警報，幫助工作人員快速識別并解決問題，同時避免高成本的過度干燥風險，為半導體潔凈室的壓縮空氣質量提供有力保障。?

6、恒歌 —— 半導體制造的 “控濕專家”?

從高科技納米級半導體制造的微量水分監測，到潔凈室 HVAC 系統的高準確度溫濕度控制，再到工藝管線氣體質量的低露點監測與壓縮空氣質量的超低露點把控，恒歌始終以精準、可靠的濕度測量解決方案，助力半導體企業攻克水分難題。HG602-C 和 HG602-D 微型露點變送器，更是針對半導體制造中不同工況需求，提供了靈活、高效的測量選擇，為半導體制造的高質量發展注入強勁動力。未來，恒歌將繼續深耕半導體行業，以技術創新為驅動，推出更多適配行業需求的產品，為半導體企業創造更大價值。